Diamond Growth on silicon and WC-Co by microwave plasma chemical vapor deposition

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

FRGALA Zdeněk KUDRLE Vít JANČA Jan BURŠÍKOVÁ Vilma VAŠINA Petr MEŠKO Marcel BURŠÍK Jiří KADLEČÍKOVÁ M. KLAPETEK Petr

Rok publikování 2003
Druh Článek ve sborníku
Konference Proceedings of contributed papers WDS'03
Fakulta / Pracoviště MU

Fakulta informatiky

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD; diamond; WC; raman spectra; SEM
Popis Diamond Growth on silicon and WC=Co by microwave plasma chemical vapor deposition
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.