Optical Properties of Diamond-Like Carbon Films Containing SiOx Studied by the Combined Method of Spectroscopic Ellipsometry and Spectroscopic Reflectometry

Logo poskytovatele
Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optické vlastnosti diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících SiOx studované kombinovanou optickou metodou spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie
Autoři

FRANTA Daniel OHLÍDAL Ivan BURŠÍKOVÁ Vilma ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2004
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Thin Solid Films
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/TSF455_393.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Ellipsometry; Reflection; Optical properties; Amorphous materials
Popis V článku budou uvedeny výsledky studia optických vlastností diamantu podobných uhlíkových vrstev s různým množstvím SiOx připravených plasmově podporovanou chemickou deposicí ze směsi metanu a hexamethyldisiloxanu na křemíkové podložky. Tyto výsledky jsou dosaženy pomocí kombinované metody založené na současné interpretaci experimentálních dat obdržených pomocí úhlově proměnné spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při téměř kolmém dopadu světla v blízké ultrafialové a viditelné oblasti spektra. Pro interpretaci experimentálních dat byl využit náš nový dispersní model optických konstant založený na parametrizaci hustoty elektronových stavů. V rámci tohoto modelu je odvozena nová analytická tříparametrická dispersní formule. Tyto tři parametry jsou úměrné hustotám pí a sigma valenčních elektronů.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.