Energy distribution of hydrogen ions in capacitively coupled low pressure discharge

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Rozdělovací funkce energií iontů ve vodíkovém kapacitně vázaném nízkotlakém výboji
Autoři

DVOŘÁK Pavel JÁNSKÝ Jaroslav ZAJÍČKOVÁ Lenka JANČA Jan

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Acta physica slovaca
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova IED hydrogen capacitively coupled low-pressure discharge plasma
Popis Článek uvádí rozdělovací funkce energií iontů (IED) H3+, H2+ a H+ vyletujících z vf. (13,56 MHz) kapacitně vázaného asymetrického vodíkového výboje, zapalovaného mezi dvěma vodorovnými elektrodami. IED byly měřeny hmotnostním a energiovým analyzátorem (PPM 421) z boku horizontálně mířícím do prostoru mezi elektrodami. Vstup do PPM byl zeměný a byl umístěn v horizontální vzdálenosti 15 mm od krajů elektrod. Publikujeme tvary IED v různých svislých vzdálenostech od buzené elektrody. Detekovali jsme ionty H+ s energií o více než 10 eV vyšší, než je maximální energie sedlové struktury, a jejich přítomnost vysvětlili disociativní ionizací molekuly H2. Naměřili jsme nezanedbatelnou impedanci vlastního plazmatu viditelnou na změně šířky sedlové struktury IED při posunu měřícího bodu. Uvádíme také vliv tlaku a vf. výkonu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.