Optical characterization of carbon films prepared by PECVD using ellipsometry and reflectometry

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optická charakterizace uhlíkových vrstev připravených metodou PECVD pomocí elipsometrie a reflektometrie
Autoři

VALTR Miroslav OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel

Rok publikování 2006
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Czech. J. Phys.
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova plasma discharge; PECVD; ellipsometry; reflectometry; plasma
Popis Uhlíkové polymerní vrstvy byly připraveny plazmovou depozicí z plynné fáze v pulzním režimu ve směsi Ar-acetylén. Optická charakterizace těchto vrstev byla provedena pomocí spektroskopické elipsometrie pod různými úhly dopadu a spektroskopické reflektometrie. V rámci optické charakterizace byly zjištěny tloušťky, spektrální závislosti indexu lomu a indexu absorpce, disperzní parametry a střední kvadratické odchylky výšek drsnosti rozhraní. Byly pozorovány nezanedbatelné odchylky mezi závislostmi tloušťek vrstev na době depozice určenými pomocí elipsometrie na jedné straně a závislostmi určenými pomocí reflektometrie na straně druhé. Tyto odchylky byly vysvětleny tím, že vrstvy vykazovaly i jiné defekty, které nebyly zahrnuty v jejich strukturním modelu. Byla rovněž pozorována citlivost optických parametrů vrstev na ozáření UV.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.