Study of magnetic field influence on charged species in a low pressure helicon reactor
| Název česky | Studium vlivu magnetického pole na nabité částice v nízkotlakém helikonovém reaktoru |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Czechoslovak Journal of Physics |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| Obor | Fyzika plazmatu a výboje v plynech |
| Klíčová slova | helicon reactor; argon; oxygen; electron density; ion flux |
| Popis | Studium koncentrace elektronů, toku iontů a emisní argonové čáry v vf helikonovém reaktoru pro různé statické magnetické pole. Použité metody: Langmuirova sonda, vf planární sonda a optická emisní spektroskopie. Statické magnetické pole bylo vytvářena dvěmy cívkami okolo zdroje jehož hodnota se pohybuje od 0 do 10 mT ve zdroji a mezi 0 a 1,4 mT v difúzní komoře. Byl studován argonový a kyslíkový výboj při tlaku 0,7 Pa a vf výkonu 50-600 W v helikonové anténě. Průběhy závislostí koncentrace elektronů, toku iontů a intenzity argonové čáry 750 nm na výkonu byly v dobré shodě. Měření v kyslíkovém výboji ukazuje lehce odlišné výsledky |
| Související projekty: |