Electron Density and Ion Flux in Diffusion Chamber of Low Pressure RF Helicon Reactor

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Koncentrace elektronů a tok iontů v difúzní komoře nízkotlakého vf helikonového reaktoru
Autoři	ŠMÍD Radek GRANIER Agnes BOUSQUET Angelique CARTRY Gilles ZAJÍČKOVÁ Lenka
Rok publikování	2006
Druh	Článek ve sborníku
Konference	WDS'06 Proceedings of Contributed Papers, Part II
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Obor	Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova	Langmuir probe; planar probe; ion flux; electron density
Popis	Koncentrace elektronů a tok iontů byli měřeny ve vysokofrekvenčním helikonovém reaktoru pří různých magnetických polích, tlaku 0,7 Pa a při vf výkonech 25-600 W pomocí válcové Langmuirovy sondy, planární sondy a optické emisní spetroskopie. Výsledky byly srovnávány.
Související projekty:	Studium a aplikace plazmochemických reakcí v neizotermickém nízkoteplotním plazmatu a jeho interakcí s povrchem pevných látek Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu