Electron Density and Ion Flux in Diffusion Chamber of Low Pressure RF Helicon Reactor

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Koncentrace elektronů a tok iontů v difúzní komoře nízkotlakého vf helikonového reaktoru
Autoři

ŠMÍD Radek GRANIER Agnes BOUSQUET Angelique CARTRY Gilles ZAJÍČKOVÁ Lenka

Rok publikování 2006
Druh Článek ve sborníku
Konference WDS'06 Proceedings of Contributed Papers, Part II
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova Langmuir probe; planar probe; ion flux; electron density
Popis Koncentrace elektronů a tok iontů byli měřeny ve vysokofrekvenčním helikonovém reaktoru pří různých magnetických polích, tlaku 0,7 Pa a při vf výkonech 25-600 W pomocí válcové Langmuirovy sondy, planární sondy a optické emisní spetroskopie. Výsledky byly srovnávány.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.