Comparison of dispersion models in the optical characterization of As-S chalcogenide thin films
| Název česky | Srovnání disperzních modelů pro optickou charakterizaci As-S chalkogenidových tenkých vrstev |
|---|---|
| Autoři | |
| Rok publikování | 2006 |
| Druh | Článek v odborném periodiku |
| Časopis / Zdroj | Journal of Non-Crystalline Solids |
| Fakulta / Pracoviště MU | |
| Citace | |
| www | http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/JNCS352_5633.html |
| Obor | Fyzika pevných látek a magnetismus |
| Klíčová slova | ellipsometry; chalcogenides |
| Popis | V tomto článku je studován vliv technologických podmínek, tj. koncentrace As, UV záření a zahřívání, na optické konstanty, tloušťku a materiálové parametry tenkých vrstev chalkogenidů typu As-S. Pro určení hodnot těchto parametrů je využita optická metoda založená na interpretaci experimentálních dat sestávajících se spektrálních závislostí propustnosti měřené při kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických veličin měřených v několika úhlech dopadu. V rámci interpretace experimentálních dat je využit Jellison-Modine dispersní model. V práci jsme ukázáno, že tento dispersní model není vhodný pro interpretaci spektrálních závislostí propustnosti studovaných tenkých vrstev. Navíc je při interpretaci experimentálních dat využit fyzikální model obsahující isotropní nehomogenní vrstvu pokrytou neabsorbující povrchovou vrstvou. |
| Související projekty: |