Comparison of dispersion models in the optical characterization of As-S chalcogenide thin films

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Srovnání disperzních modelů pro optickou charakterizaci As-S chalkogenidových tenkých vrstev
Autoři

OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel ŠILER Martin VIŽĎA František FRUMAR Miloslav JEDELSKÝ Jaroslav OMASTA Jaroslav

Rok publikování 2006
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Journal of Non-Crystalline Solids
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/JNCS352_5633.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova ellipsometry; chalcogenides
Popis V tomto článku je studován vliv technologických podmínek, tj. koncentrace As, UV záření a zahřívání, na optické konstanty, tloušťku a materiálové parametry tenkých vrstev chalkogenidů typu As-S. Pro určení hodnot těchto parametrů je využita optická metoda založená na interpretaci experimentálních dat sestávajících se spektrálních závislostí propustnosti měřené při kolmém dopadu světla a spektrálních závislostí elipsometrických veličin měřených v několika úhlech dopadu. V rámci interpretace experimentálních dat je využit Jellison-Modine dispersní model. V práci jsme ukázáno, že tento dispersní model není vhodný pro interpretaci spektrálních závislostí propustnosti studovaných tenkých vrstev. Navíc je při interpretaci experimentálních dat využit fyzikální model obsahující isotropní nehomogenní vrstvu pokrytou neabsorbující povrchovou vrstvou.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.