Sheath resistance in RF discharges

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Odpor stěnové vrstvy ve vysokofrekvenčních výbojích
Autoři

DVOŘÁK Pavel JANČA Jan

Rok publikování 2006
Druh Článek ve sborníku
Konference Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers of 18th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of Ionised Gases
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova sheath resistance discharge probe
Popis Příspěvek studuje odpor stěnové vrstvy v kapacitně vázaném výboji. Byla pozorována její nelinearita vzhledem ke stejnosměrnému proudu, tj. odpor stěnové vrstvy závisel na procházejícím stejnosměrném proudu. Nelineární chování stěnové vrstvy může být v některých případech využito k přibližnému určení parametrů plazmatu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.