Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Plazmochemická depozice vrstev z hexametyldisiloxanu a oktametyltetrasiloxanu
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka KUČEROVÁ Zuzana FRANTA Daniel BURŠÍKOVÁ Vilma BURŠÍK Jiří SŤAHEL Pavel KLAPETEK Petr

Rok publikování 2007
Druh Článek ve sborníku
Konference 18th International Symposium on Plasma Chemistry
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova PECVD; HMDSO; OMCTS
Popis Siloxanové polymery
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.