Informace o projektu
Příprava nových Si-O(N)-C materiálů plazmochemickou metodou
- Kód projektu
- 1K05025
- Období řešení
- 1/2005 - 12/2007
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy ČR
- Program podpory začínajících pracovníků výzkumu a vývoje (Národní program výzkumu)
- Fakulta / Pracoviště MU
-
Přírodovědecká fakulta
- prof. RNDr. Jan Janča, DrSc.
- doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Klíčová slova
- plazmochemická depozice, PECVD, organosilikony, plazmové polymery, tvrdé vrstvy, plazmová modifikace
Cílem projektu je příprava nových Si-O-C:H polymerů variabilních ve své nanostruktuře i organicko-anorganickém charakteru a příprava tvrdých ochranných Si-O-C a Si-N-C vrstev vykazujících nízké vnitřní pnutí a dobrou adhezi k různým substrátům. Tyto materiály budou připravovány v kontinuálním a pulzním režimu vf. doutnavého výboje za použití organosilikonových reaktantů. Vlastnosti vrstev budou optimalizovány pro předpokládané aplikace změnou depozičních parametrů, především složením reakční směsi, stupněm iontového bombardu, délkou trvání pulzu a dobou mezi pulzy. Procesy během depozice budou studovány několika metodami diagnostiky plazmatu, aby došlo k porozumění vlivu těchto procesů na výsledné vlastnosti vrstev. Zároveň bude stanoven postup plazmového ošetření povrchu substrátu vedoucí k dobré adhezi vrstev. Výsledky budou prezentovány na mezinárodních konferencích a publikovány v recenzovaných časopisech.
Publikace
Počet publikací: 16
2008
-
Composition and functional properties of organosilicon plasma polymers from hexamethyldisiloxane and octamethylcyclotetrasiloxane
ORGANIC/INORGANIC HYBRID MATERIALS - 2007, rok: 2008
2007
-
Comparative Study of Films Deposited from HMDSO/O2 in Continuous Wave and Pulsed rf Discharges
Plasma processes and polymers, rok: 2007, ročník: 4, vydání: S1
-
Deposition and Characterization of Nanostructured Silicon-Oxide Containing Diamond-Like Carbon Coatings
Optoelectronics and Advanced Materials - Rapid Communications, rok: 2007, ročník: 1, vydání: 10
-
Deposition of protective coatings in rf organosilicon discharges
Plasma Sources Science and Technology, rok: 2007, ročník: 16, vydání: 1
-
Models of dielectric response in disordered solids
Optics Express, rok: 2007, ročník: 15, vydání: 24
-
Organosilicon thin films deposited by plasma enhanced CVD: Thermal changes of chemical structure and mechanical properties
Journal of Physics and Chemistry of Solids, rok: 2007, ročník: 68, vydání: 1
-
Plasma enhanced CVD of thin films using hexamethyldisiloxane and octamethyltetrasiloxane monomers
18th International Symposium on Plasma Chemistry, rok: 2007
2006
-
Deposition of protective couatings in RF organosilicon discharges
In Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, 18th Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, rok: 2006
-
Modeling of DLC Optical Properties Based on Parameterization of Density of States
Application of Nanocrystalline Diamond and Diamond Like Carbon Materials, rok: 2006
-
Modeling of optical constants of organosilicon thin films by parameterization of denstity of states
4th Workshop Ellipsometry, rok: 2006