Optical Characterization of Ultrananocrystalline Diamond Films

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Optická charakterizace ultrananokrystalických diamantových vrstev
Autoři

FRANTA Daniel ZAJÍČKOVÁ Lenka KARÁSKOVÁ Monika JAŠEK Ondřej NEČAS David KLAPETEK Petr VALTR Miroslav

Rok publikování 2008
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Diamond and Related Materials
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Nanocrystalline carbon; Optical properties characterization; Band structure
Popis Optical properties of the ultrananocrystalline diamond films were studied by multisample method based on the combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and spectroscopic reflectometry applied in the range 0.6-6.5 eV. The films were deposited by PECVD in a conventional bell jar (ASTeX type) reactor using dual frequency discharge, microwave cavity plasma and radio frequency plasma inducing dc self-bias at a substrate holder. The optical model of the samples included a surface roughness described by the Rayleigh-Rice theory and a refractive index profile in which Drude approximation was used. The results conformed with the present understanding of the polycrystalline diamond growth on the silicon substrate because the existence of silicon carbide and amorphous hydrogenated carbon film between the silicon substrate and nucleation layer was proved.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.