Composition and functional properties of organosilicon plasma polymers from hexamethyldisiloxane and octamethylcyclotetrasiloxane

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Složení a funkční vlastnosti organosilikonových polymerů vytvářených z hexamethyldisiloxanu a octamethylcyclotetrasiloxanu
Autoři

ZAJÍČKOVÁ Lenka KUČEROVÁ Zuzana BURŠÍKOVÁ Vilma FRANTA Daniel PEŘINA Vratislav MACKOVÁ Anna

Rok publikování 2008
Druh Článek ve sborníku
Konference ORGANIC/INORGANIC HYBRID MATERIALS - 2007
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
Obor Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Klíčová slova THIN-FILMS; HYBRID; DEPOSITION; SILICA; MODEL
Popis Hybrid organic-inorganic thin films with different fractions of silicon oxide were deposited in rf capacitively coupled discharges using pure hexamethyldisiloxane (HMDSO), octamethylcyclotetrasiloxane (D4) or 5 % HMDSO in O-2. The deposition in continuous wave (cw) mode was compared with pulsed conditions under which the discharge on-time was 5 ms and the off-time varied from 0.5 to 15 ms. The chemical composition of the films was studied by FTIR, RBS and ERDA. Their optical properties in UV/visible/NIR were determined from spectroscopic ellipsometry and reflectance measurements fitted with a Kramers-Kronig consistent dispersion model based on a parametrization of density of states. Film hardness and reduced modulus were determined from depth sensing indentation tests.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.