Ellipsometric characterisation of thin films non-uniform in thickness

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Autoři

NEČAS David FRANTA Daniel BURŠÍKOVÁ Vilma OHLÍDAL Ivan

Rok publikování 2011
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Thin Solid Films
Fakulta / Pracoviště MU

Přírodovědecká fakulta

Citace
www http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.065
Doi http://dx.doi.org/10.1016/j.tsf.2010.12.065
Obor Optika, masery a lasery
Klíčová slova Optical characterisation; Variable angle spectroscopic ellipsometry; Phase-modulated ellipsometry; Non-uniform thin films
Popis Ellipsometric formulae for thin films non-uniform in thickness are presented. A general type of thickness nonuniformity is considered and the influence of the varying angle of incidence is taken into account. The presented formulae are applied to the optical characterisation of polymer SiO2-like thin films exhibiting a relatively strong thickness non-uniformity. It is shown that the complete optical characterisation of these polymer thin films can be performed. Thus, the spectral dependences of the optical constants, mean thickness and parameters related to the shape of thickness non-uniformity can be determined.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.