Langmuir Probe and Optical Emission Diagnostics of DC Cylindrical Magnetron

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Přírodovědeckou fakultu. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.

Název česky	Diagnostika cylindrického DC magnetronu Langmuirovou sondou a optickou emisní spektroskopií
Autoři	KOLPAKOVÁ Anna DOSOUDILOVÁ Lenka NAVRÁTIL Zdeněk KUDRNA Pavel TICHÝ Milan
Rok publikování	2012
Druh	Konferenční abstrakty
Fakulta / Pracoviště MU	Přírodovědecká fakulta
Citace
Popis	V tomto příspěvku studujeme stejnosměrný výboj v magnetronu. Pracovním plynem byl neon, typický tlak 2-10 Pa, výbojový proud byl 100-250 mA. Měření v slabě magnetizovaném plazmatu v neonu bylo prováděno radiálně pohyblivou Langmuirovou sondou. Ze sondových měření byly stanoveny radiální závislosti parametrů plazmatu (plovoucí a plazmový potenciál, koncentrace elektronů). Optická emisní spektroskopie doplněná o metodu větvicích poměrů posloužila ke stanovení koncentrace atomů neonu v metastabilních stavech. Určená koncentrace atomů neonu ve stavu 1s5 se pohybovala okolo 2.2x10^10 cm-3.
Související projekty:	Plazmochemické procesy a jejich technologické aplikace CEPLANT - Regionální VaV centrum pro nízkonákladové plazmové a nanotechnologické povrchové úpravy