Combination of optical methods and atomic force microscopy at characterization of thin film systems

Logo poskytovatele

Varování

Publikace nespadá pod Pedagogickou fakultu, ale pod Fakultu informatiky. Oficiální stránka publikace je na webu muni.cz.
Název česky Kombinace optických metod a mikroskopie atomové síly pro zkoumání systémů tenkých vrstev
Autoři

OHLÍDAL Ivan FRANTA Daniel KLAPETEK Petr

Rok publikování 2005
Druh Článek v odborném periodiku
Časopis / Zdroj Acta physica slovaca
Fakulta / Pracoviště MU

Fakulta informatiky

Citace
www http://hydra.physics.muni.cz/~franta/bib/APS55_271.html
Obor Fyzika pevných látek a magnetismus
Klíčová slova Roughness; Ellipsometry; Spectrophotometry; AFM
Popis V tomto článku jsou uvedeny příklady kombinace analytických metod použitelných pro charakterizaci systémů tenkých vrstev. Jako optické metody jsou užity víceúhlová spektroskopická elipsometrie a spektroskopická reflektometrie. Je ukázáno, že tyto metody mohou být aplikovány pro úplné určení optických i materiálových parametrů látek vytvářejících tenké vrstvy. Navíc je ukázáno, že kombinované metody AFM a specifikovaných optických metod je možné využít k určení hodnot parametrů charakterizujících některé defekty zkoumaných systémů tenkých vrstev. Je také presentována diskuse spolehlivosti metod umožňujících určit hodnoty statistických veličin popisujících drsnost rozhraní. Podrobná pozornost je věnována výsledkům dosaženým pro tyto veličiny pomocí AFM pro velmi jemně drsná rozhraní tenkých vrstev (tj. pro nanometricky drsná rozhraní). Praktický význam uvedených kombinovaných metod je ilustrován pomocí chararakterizace několika vzorků TiO2 vrstev, hydrogenovaných polymorfních křemíkových vrstev a oxidových vrstev vzniklých termickou oxidací podložek z galium arsenidu.
Související projekty:

Používáte starou verzi internetového prohlížeče. Doporučujeme aktualizovat Váš prohlížeč na nejnovější verzi.