Informace o projektu
Příprava uhlíkových mikro- a nanostruktur plazmovými technologiemi
- Kód projektu
- GA202/05/0607
- Období řešení
- 1/2005 - 12/2007
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Standardní projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Klíčová slova
- nanostruktury, uhlikove nanotrubky, plazmochemicka depozice z plynne) faze, PECVD
V projektu bude studován růst uhlíkových nanotrubek (CNT) a nanovláken (CNF) metodou plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD) a budou porovnány různé výboje (mikrovlnný, v.f. CCP a ICP, modifikovaný systém magnetronového naprašování). Cílem je také vyrobit CNT při nízké teplotě, v atmosférickém výboji a růst jednostěnných CNT. Dále bude prováděna syntéza uhlíkových nanostruktur (strukturovaných polymerů, CNT a fullerenů) v pulzním v.f. doutnavém výboji. Bude studován vliv trvání pulzu na depozice. Mikro- a nanokrystalický diamant bude deponován metodou PECVD a jeho vlastnosti budou kontrolovány změnou velikosti krystalitů a dopováním dalšími elementy, např. bórem. Nanokompozitní vrstvy obsahující CNT a CNF budou připravovány metodou PECVD. Vrstvy budou studovány z hlediska mech., optických a elektrických vlastností. Uhlíkové nanostruktury budou připravovány se zřetelem na funkční zařízení (emitory, standardy pro odhadnutí tuposti AFM hrotu) a pro modifikaci materiálových vlastností povrchu (optických, mechanických a elektromagnetických). Výboje použité pro zmíněné procesy budou studovány optickou emisní spektroskopií, hmotovou a iontovou spektroskopií a Langmuirovou sondou. Připravené materiály budou charakterizovány pomocí TEM a SEM, AFM, FTIR a Ramanovskou spektroskopií, RBS a ERDA, XPS, XRD. Bude vytvořena skupina spolupracujících českých laboratoří pro pokročilou charakterizaci materiálů.
Publikace
Počet publikací: 38
2006
-
Deposition and Characterisation of Nanostructured silicon-oxide Containing Diamond-like Carbon Coatings
7th International Balkan Workshop on Applied Physics - Abstracts, rok: 2006
-
Depozice nanokrystalických diamantových vrstev metodou PECVD v mikrovlnném reaktoru typu ASTEX
Moderní trendy ve fyzice plazmatu a pevných látek II, rok: 2006
-
Depozice uhlíkových nanotrubek metodami PECVD
Zpravodaj české vakuové společnosti, rok: 2006, ročník: 16, vydání: 1-2
-
Depth sensing indentation at nano- and microscale
2. Slovensko - Český seminár "Lokálne mechanické vlastnosti, rok: 2006
-
Mechanical properties of nanostructured composite diamond films prepared by PECVD enhanced by RF induced DC self bias
E-MRS 2006 Fall meeting, rok: 2006
-
Mechanické vlastnosti nanokrystalických diamantových vrstev
Vrstvy a povlaky 2006, rok: 2006
-
Microwave PECVD of nanocrystalline diamond with rf induced bias nucleation
Czechoslovak Journal of Physics B, rok: 2006, ročník: 56, vydání: 1
-
Nanocomposite Diamond-Like Carbon Coatings Studied by AEM and Depth Sensing Indentation Test
EMAS 2006, rok: 2006
-
Optical emission spectroscopy of microwave plasma torch during deposition of carbon nanotubes
In Abstracts of Invited Lectures and Contributed Papers, XVth Europhysics Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases, rok: 2006
-
Optimalization of Carbon Nanotube Preparation in Atmospheric Pressure Microwave Torch
Abstract Booklet of the International Conference NANO '06, rok: 2006