Informace o projektu
Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
- Kód projektu
- GP202/08/P038
- Období řešení
- 1/2008 - 12/2010
- Investor / Programový rámec / typ projektu
-
Grantová agentura ČR
- Postdoktorské projekty
- Fakulta / Pracoviště MU
- Přírodovědecká fakulta
- Klíčová slova
- magnetronové naprašování, hybridní PVD-PECVD, hysterezní chování, příprava tenkých vrstev, nanokompozit, BCN
Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanokompozitních n-Ti:C/a-C:H a a-BCN:H materiálů. Jako zdroj uhlíku pro přípravu tenkých vrstev bude použit některý z plynných uhlovodíků dodávaný přímo do depozičního reaktoru, který zcela nahradí tradiční rozprašování uhlíkového terče. Hysterezní chování tohoto depozičního procesu a vlastnosti jím připravených vrstev budou srovnány s PVD procesem. Bude provedena srovnávací studie pro různé druhy uhlovodíků. Na základě provedených experimentů bude vylepšen stávající model reaktivního magnetronového naprašování. Tento model bude pracovat s nerovnoměrným tvarem hustoty výbojového proudu a bude rozšířen o interakci plynného uhlovodíku s povrchem magnetronové katody a stěnami depozičního reaktoru.
Publikace
Počet publikací: 37
2011
-
Depth profile analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering
Surface & Coatings Technology, rok: 2011, ročník: 205, vydání: July, DOI
-
Experimental study of hybrid PVD-PECVD process of metallic target sputtering in argon and acetylene
Rok: 2011, druh: Konferenční abstrakty
-
Study of hybrid PVD–PECVD process of Ti sputtering in argon and acetylene
Surface & Coatings Technology, rok: 2011, ročník: 205, vydání: July, DOI
2010
-
Behaviour of Hybrid PVD-PECVD in Comparison with Conventional Reactive Magnetron Sputtering.
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Behaviour of Hybrid PVD-PECVD Process in Comparison with Conventional Reactive Magnetron Sputtering
7th ICRP & 63rd GEC - CONFERENCE PROCEEDINGS, rok: 2010
-
Behaviour of hybrid PVD-PECVD process of Ti sputtering in argon and acetylene atmosphere
Potential and Applications of Nanotretment of Medical Surface, rok: 2010
-
Deposition and analyses of nc-TiC/a-C:H coating prepared by balanced magnetron sputtering
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Deposition and characterization of nc-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD
Potencial and Application of Nanotreatment of Medical Surfaces, rok: 2010
-
Deposition and characterization of n-TiC/a-C:H coatings prepared by hybrid PVD-PECVD
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty
-
Diagnostics of reactive magnetron sputtering
Rok: 2010, druh: Konferenční abstrakty